一種生長晶體材料時的溫度引導裝置及其方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201210049146.6 申請日 -
公開（公告）號 CN103290485B 公開（公告）日 2017-03-22
申請公布號 CN103290485B 申請公布日 2017-03-22
分類號 C30B35/00(2006.01)I;C30B11/00(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 劉朝軒 申請（專利權）人 鑫融基投資擔保有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 471009 河南省洛陽市國家高新技術開發(fā)區(qū)金鑫路2號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種生長晶體材料時的溫度引導裝置及其方法，涉及一種晶體材料生長設備的輔助溫控裝置，在爐室(21)內(nèi)坩堝(6)的上端設有上蓋(23)，上蓋的下部與坩堝的上端之間設有導熱通路；所述發(fā)熱體(22)分別連接電源的正負極，發(fā)熱體對坩堝輻射加熱，同步也對坩堝上部的晶體材料(7)加熱，同時由上蓋的上蓋外沿(2)形成發(fā)熱體上端熱能向坩堝的上部聚攏，由坩堝與上蓋之間的導熱通路引導熱能向坩堝內(nèi)晶體材料上部的加熱，坩堝內(nèi)晶體材料上部的溫度獲取高于坩堝內(nèi)下部的晶體材料溫度；本發(fā)明由上蓋形成發(fā)熱體熱能向坩堝內(nèi)晶體材料的上部聚攏，使上部的晶體材料獲取較快的溫度上升，實現(xiàn)了溫度引導和最大化利用熱能的目的。