一種太陽能選擇性吸收涂層及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN02159702.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN100343413C 公開（公告）日 2007-10-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN100343413C 申請(qǐng)公布日 2007-10-17
分類號(hào) C23C14/06(2006.01);F24J2/48(2006.01) 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 高漢三;江希年;葛洪川 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京歐科能太陽能技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 黨曉林
地址 100083北京市海濱區(qū)學(xué)院路30號(hào)科技大學(xué)會(huì)議中心1202室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種太陽能選擇性吸收涂層及其制備方法，該涂層由基底層Cu鏡面反射膜、中間層AlNxOy干涉吸收膜和表面層AlNxOyCz減反膜三層結(jié)構(gòu)組成，具有可見-近紅處光譜高吸收率、紅外光譜極低發(fā)射率和真空烘烤熱穩(wěn)定性，適用于中溫(100-300℃)工作溫度真空使用環(huán)境的全玻璃真空管和熱管式真空管等應(yīng)用領(lǐng)域，使該類太陽能真空集熱管具有更低熱損、更高熱效率的優(yōu)異特性，該涂層的制備采用三靶直流磁控濺射，鍍膜反應(yīng)氣體由氮、氧、甲烷、乙炔等調(diào)控，濺射工況穩(wěn)定，重復(fù)性好，適于全玻璃真空管和熱管式真空管等生產(chǎn)性制備。