提取介質(zhì)材料的特性結(jié)構(gòu)及其提取方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111484310.1 申請日 -
公開（公告）號 CN114167145A 公開（公告）日 2022-03-11
申請公布號 CN114167145A 申請公布日 2022-03-11
分類號 G01R27/26（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 隋磊;盧煜旻;朱欣恩 申請（專利權(quán)）人 上海矽杰微電子有限公司
代理機構(gòu) 嘉興啟帆專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 程開生
地址 201800上海市嘉定區(qū)葉城路1288號6幢J461室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了提取介質(zhì)材料的特性結(jié)構(gòu)及其提取方法，提取介質(zhì)材料的特性結(jié)構(gòu)的提取方法，通過提取介質(zhì)材料的特性結(jié)構(gòu)來提取介質(zhì)材料的絕對介電常數(shù)和損耗角正切，包括步驟S1：在頂層設(shè)有U型槽結(jié)構(gòu)，以使得能量通過U型槽結(jié)構(gòu)輸入諧振器，從而在諧振器中產(chǎn)生諧振，以通過測量整個結(jié)構(gòu)的反射系數(shù)獲得諧振頻率和品質(zhì)因數(shù)。本發(fā)明公開的提取介質(zhì)材料的特性結(jié)構(gòu)及其提取方法，其通過諧振器來提取介質(zhì)材料的絕對介電常數(shù)以及損耗角正切。