一種罐體吹掃及檢測系統(tǒng)及其工作方法
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202010558673.4 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN111734957A | 公開（公告）日 | 2020-10-02 |
| 申請公布號 | CN111734957A | 申請公布日 | 2020-10-02 |
| 分類號 | F17D1/04(2006.01)I | 分類 | 氣體或液體的貯存或分配; |
| 發(fā)明人 | 柳光植;沈琦 | 申請（專利權(quán)）人 | 江蘇先科半導(dǎo)體新材料有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 張超 |
| 地址 | 214203江蘇省無錫市宜興經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)荊溪北路 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種罐體吹掃及檢測系統(tǒng)，包括氣體輸送主干路，氣體輸送主干路上有過濾系統(tǒng)，沿氣體輸送方向的過濾系統(tǒng)的后方設(shè)有單向閥，單向閥的后方設(shè)有多個與氣體輸送主干路連接的吹掃及檢測系統(tǒng)，每兩套吹掃及檢測系統(tǒng)共用同一套顆粒計數(shù)器及水分儀，每套吹掃及檢測系統(tǒng)包括自氣體輸送主干路延伸出的第一支路，第一支路的出口分為第二支路和第三支路，第二支路和第三支路的出口匯聚在第四支路的進(jìn)口，第四支路通過顆粒過濾器和電磁閥再和罐體的進(jìn)口連接，罐體的出口連接顆粒計數(shù)器及水分儀。本發(fā)明還公開了此種系統(tǒng)的工作方法。采用本發(fā)明的設(shè)計方案，能夠?qū)τ糜趦湮ｋU化學(xué)品的罐體進(jìn)行吹掃和檢測。?? |
