一種使用離子液體調控金屬薄膜磁性的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911072269.X 申請日 -
公開（公告）號 CN110983268A 公開（公告）日 2020-04-10
申請公布號 CN110983268A 申請公布日 2020-04-10
分類號 C23C14/35;C23C14/18;H01F41/16 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 張曉慧;周子堯;胡忠強;李春雷 申請（專利權）人 西安科匯電子科技有限公司
代理機構 西安通大專利代理有限責任公司 代理人 姚詠華
地址 710075 陜西省西安市高新區(qū)高新二路12號協(xié)同大廈后樓5層1505
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種使用離子液體調控金屬薄膜磁性的方法，包括：1)將選定基底進行預處理后，在其上采用直流磁控濺射法在真空度條件下，以不同功率依次沉積適宜被咪唑類離子液體調控的金屬薄膜；2)，通過對浸潤金屬薄膜的咪唑類離子液體施加步長相同的循環(huán)電壓，確認未發(fā)生化學反應的電壓范圍；3)在氮氣保護條件下，通過改變離子液體兩端電壓調控金屬薄膜磁性。發(fā)明降低了調控電壓與電流，節(jié)約能源，減輕了設備腐蝕且易于操作，同時調控量大，對環(huán)境無污染。