一種大尺寸硅片脫膠機噴淋裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122118205.8 申請日 -
公開（公告）號 CN215543189U 公開（公告）日 2022-01-18
申請公布號 CN215543189U 申請公布日 2022-01-18
分類號 B08B3/02（2006.01）I;B08B3/14（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 孫彬;朱炳;湯琦;徐志群;付明全 申請（專利權）人 高景太陽能股份有限公司
代理機構 北京眾達德權知識產權代理有限公司 代理人 張曉冬
地址 519000廣東省珠海市金灣區(qū)三灶鎮(zhèn)金海岸大道西46號4#號廠房第四層404
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開一種大尺寸硅片脫膠機噴淋裝置，包括噴淋槽底板、噴淋管組和傳動機構，所述噴淋槽底板的前后兩側均焊接有短側板，在噴淋槽底板的左右兩側均焊接有長側板，所述噴淋槽底板上表面與短側板和長側板的內表面組成了脫膠槽，在脫膠槽的內部設有噴淋管組，所述噴淋管組在脫膠槽的內壁頂端由上至下依次分為第一噴淋管、第二噴淋管和第三噴淋管，在每根噴淋管的表面均等間距安裝有噴頭；本實用新型通過設置對稱的噴淋管組在使用時可通過不同噴射角度的噴淋管配合后期連接增壓設備調整每根噴淋管的噴淋壓強，就可以實現多角度不同壓力對大尺寸硅片表面進行充分的清洗提高清洗效果降低了污片率。