一種介穩(wěn)態(tài)控制制備金剛石的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110574749.7 申請日 -
公開（公告）號 CN113026001B8 公開（公告）日 2021-09-14
申請公布號 CN113026001B8 申請公布日 2021-09-14
分類號 C23C16/52;C23C16/27;C23C16/50;C23C16/46 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 王濤;魏遠(yuǎn)征;張雪梅;吳劍波;朱長征;徐念;龔闖;王簫 申請（專利權(quán)）人 蘇州香榭軒表面工程技術(shù)咨詢有限公司
代理機構(gòu) 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 汪青;向亞蘭
地址 200000 上海市青浦區(qū)華浦路500號2幢西側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種介穩(wěn)態(tài)控制制備金剛石的方法，該方法采用等離子體化學(xué)氣相沉積法，在沉積臺上進(jìn)行沉積形成金剛石；其中，該制備方法包括設(shè)置溫度控制系統(tǒng)，以及利用溫度控制系統(tǒng)控制沉積過程中沉積臺下方的溫度自上而下按照設(shè)定的梯度遞減，以及使得沉積臺在沿沉積面延伸方向上的溫度的變化低于5攝氏度；本發(fā)明方法通過對金剛石沉積過程尤其是沉積界面能量的精準(zhǔn)控制，實現(xiàn)了金剛石的定向、定型且高質(zhì)量的穩(wěn)定生長。