一種碳化硅晶圓貫穿型管道缺陷的檢測(cè)方法及裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110988095.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113758641A 公開（公告）日 2021-12-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN113758641A 申請(qǐng)公布日 2021-12-07
分類號(hào) G01M3/04（2006.01）I;G01N21/95（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 趙華利;崔景光;閆蘭;高彥靜;趙煥君;李永超;呂敬文 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 河北同光半導(dǎo)體股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京連城創(chuàng)新知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 許莉
地址 071051河北省保定市北三環(huán)6001號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種碳化硅晶圓貫穿型管道缺陷的檢測(cè)方法及裝置，涉及碳化硅晶圓檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，其能夠直觀地觀察到是否存在貫穿型管道，且檢測(cè)時(shí)間短、檢測(cè)人員不易產(chǎn)生疲勞，能夠有效保證檢測(cè)的一致性。本發(fā)明所述的碳化硅晶圓貫穿型管道缺陷的檢測(cè)方法，包括以下步驟：通過采用真空裝置，使被測(cè)晶圓兩側(cè)產(chǎn)生壓力差；在此條件下，在晶圓的一側(cè)噴涂酒精液體；通過觀察晶圓的另一側(cè)是否存在漏液情況，以判斷晶圓是否存在貫穿型管道缺陷。