電子束光刻膠組合物及制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201810383600.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN108628101A 公開（公告）日 2018-10-09
申請(qǐng)公布號(hào) CN108628101A 申請(qǐng)公布日 2018-10-09
分類號(hào) G03F7/039 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 秦龍;許箭;袁華;曾霞;劉曉華;汪武平;耿文練;花雷 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 儒芯微電子材料（上海）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海智晟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 儒芯微電子材料（上海）有限公司
地址 201306 上海市浦東新區(qū)泥城鎮(zhèn)云漢路979號(hào)2樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種電子束光刻膠組合物，其主要成分包括鹵代丙烯酸酯共聚物和光致產(chǎn)酸劑，所述鹵代丙烯酸酯共聚物為鹵代丙烯酸酯單體單元和芳香族丙烯酸酯或芳香族烯類單體單元的共聚物。通過引入側(cè)鏈取代的鹵族原子及剛性的芳香環(huán)，并選取了合適的單體單元的組合，本發(fā)明組合物中的共聚物具有較高的靈敏度和抗蝕性能。此外，本發(fā)明組合物中還具有光致產(chǎn)酸劑，能夠加速組合物中的共聚物的裂解，有效提高了曝光效率，進(jìn)一步提高了光刻膠的靈敏度。