含堿性香豆素結構的聚合物樹脂及其光刻膠組合物

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710858228.8 申請日 -
公開（公告）號 CN107621751B 公開（公告）日 2018-01-23
申請公布號 CN107621751B 申請公布日 2018-01-23
分類號 G03F7/004(2006.01)I; 分類 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術〔4〕;
發(fā)明人 許箭;劉曉華;秦龍;汪武平;耿文練 申請（專利權）人 儒芯微電子材料（上海）有限公司
代理機構 上海劍秋知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 楊飛
地址 201306上海市浦東新區(qū)泥城鎮(zhèn)云漢路979號2樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提出了含堿性香豆素結構的聚合物樹脂及其光刻膠組合物，涉及一系列含堿性香豆素結構的聚合物樹脂的合成方法及包含該聚合物樹脂的光刻膠材料的制備方法。本發(fā)明將堿性香豆素結構引入光刻膠主體樹脂中，該樹脂既可以滿足化學光刻膠基本樹脂的要求，又可以作為吸光劑和堿性添加劑，能夠有效地改善光刻圖形分辨率和形貌。該光刻膠主要應用于大規(guī)模集成電路光刻技術中，如紫外、深紫外、極紫外及電子束等光刻技術中，尤其適用于248nm光刻技術。??