一種增強(qiáng)光刻圖形分辨率的方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010638024.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN111856889A | 公開（公告）日 | 2020-10-30 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111856889A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-10-30 |
| 分類號(hào) | G03F7/20(2006.01)I | 分類 | 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 許箭;袁華;耿文練;孫小俠 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 儒芯微電子材料（上海）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海劍秋知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 儒芯微電子材料（上海）有限公司 |
| 地址 | 201206上海市浦東新區(qū)川橋路1295號(hào)2幢305室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了一種增強(qiáng)光刻圖形分辨率的方法，其包括在襯底上依次形成第一膠層和第二膠層；通過(guò)光刻曝光工藝在所述第一膠層上形成曝光區(qū)和非曝光區(qū)；采用第一溶劑去除所述曝光區(qū)和所述第二膠層的部分區(qū)域，或者先采用第二溶劑去除所述曝光區(qū)，再采用第三溶劑去除所述第二膠層的部分區(qū)域，從而在所述第一膠層形成第一圖案，在所述第二膠層形成第二圖案，所述第二圖案是在所述第一圖案基礎(chǔ)上縮進(jìn)后的圖案；采用第四溶劑去除所述非曝光區(qū)。?? |
