光束偏擺自動補償裝置以及激光干涉儀

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111460690.5 申請日 -
公開（公告）號 CN114166113A 公開（公告）日 2022-03-11
申請公布號 CN114166113A 申請公布日 2022-03-11
分類號 G01B9/02055（2022.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 段小艷;張大治;田森 申請（專利權(quán)）人 中國航空工業(yè)集團公司北京長城計量測試技術(shù)研究所
代理機構(gòu) 北京市隆安律師事務(wù)所 代理人 付建軍
地址 100095北京市海淀區(qū)溫泉鎮(zhèn)環(huán)山村1066信箱
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種光束偏擺自動補償裝置以及激光干涉儀，其中光束偏擺自動補償裝置，用于激光干涉儀，包括物鏡、前補償鏡、光欄和后補償鏡，來自偏擺目標的偏轉(zhuǎn)光束依次經(jīng)所述物鏡、所述前補償鏡、所述光欄和所述后補償鏡入射到所述激光干涉儀的光電接收器；所述物鏡用于對來自偏擺目標的偏轉(zhuǎn)光束進行會聚；所述前補償鏡用于對所述物鏡的出射光束進行二次會聚，所述前補償鏡的焦距小于所述前補償鏡與所述物鏡的間距；所述光欄用于控制出射光束在所述后補償鏡的入射光瞳；所述后補償鏡用于控制出射光束入射到所述光電接收器的光斑尺寸，所述后補償鏡的焦距小于所述前補償鏡的焦距。本發(fā)明能夠補償因被測目標轉(zhuǎn)動導(dǎo)致的光束偏擺。