一種不同尺寸異質(zhì)材料混合集成的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910809444.2 申請日 -
公開（公告）號 CN110517955B 公開（公告）日 2021-05-14
申請公布號 CN110517955B 申請公布日 2021-05-14
分類號 H01L21/18 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 程禹;李彥慶;趙東旭;陳艷明;方小磊;劉佳 申請（專利權(quán)）人 長春長光圓辰微電子技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 長春市吉利專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 李曉莉
地址 130033 吉林省長春市經(jīng)開區(qū)營口路18號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種不同尺寸異質(zhì)材料混合集成的方法，屬于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，該方法通過使用模具完成2英寸晶圓與8英寸晶圓的鍵合，同時利用機械對準方式與光學(xué)對準方式相結(jié)合，完成兩次鍵合工藝，在鍵合工藝之間使用8英寸生產(chǎn)機臺進行光刻等工藝，實現(xiàn)不同尺寸異質(zhì)材料的混合集成，并可以保證對準精度。