一種光刻機(jī)對準(zhǔn)標(biāo)記制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110038886.9 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN112666806A 公開（公告）日 2021-04-16
申請公布號(hào) CN112666806A 申請公布日 2021-04-16
分類號(hào) G03F9/00;H01L21/67;H01L27/146 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 方小磊;陳濤;劉耀聰;張凱;蔡雨杉;李天成 申請（專利權(quán)）人 長春長光圓辰微電子技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 長春中科長光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 高一明;郭婷
地址 130000 吉林省長春市經(jīng)開區(qū)營口路18號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體芯片加工制造領(lǐng)域。本發(fā)明提供一種背照式圖像傳感器的光刻機(jī)對準(zhǔn)標(biāo)記制作方法，在鍵合前的兩片晶圓上通過任意光刻機(jī)分別制作紅外對準(zhǔn)標(biāo)記；在鍵合、減薄后，通過紅外光刻機(jī)找到存在于兩片晶圓中的紅外對準(zhǔn)標(biāo)記，利用此紅外對準(zhǔn)標(biāo)記在減薄后的晶圓表面制作專用光刻機(jī)標(biāo)記。通過制作紅外光刻機(jī)對準(zhǔn)標(biāo)記，實(shí)現(xiàn)了背照式圖像傳感器在鍵合、減薄后的精確對準(zhǔn)，從而可以在減薄后的晶圓上直接制作后層對準(zhǔn)標(biāo)記，進(jìn)而后續(xù)結(jié)構(gòu)的對準(zhǔn)和光刻可以使用任意一種光刻機(jī)完成。