藍(lán)寶石襯底

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201620401735.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN205595363U 公開（公告）日 2016-09-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN205595363U 申請(qǐng)公布日 2016-09-21
分類號(hào) H01L33/20(2010.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 丁澤;何亞東;房觀耀 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 元鴻（山東）光電材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 濟(jì)寧眾城專利事務(wù)所 代理人 杜言壘
地址 272000 山東省濟(jì)寧市高新區(qū)聯(lián)華路8號(hào)（信息產(chǎn)業(yè)園內(nèi))
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 藍(lán)寶石襯底，包括襯底本體，在襯底本體上表面相互嵌套地設(shè)置有用于生長緩沖層的第一凸起和第二凸起，所述第一凸起具有第一分布周期，第二凸起具有第二分布周期，所述第一凸起呈圓臺(tái)狀外形，第二凸起呈圓錐狀外形，第一凸起的底面直徑大于第二凸起的底面直徑，第一凸起的高度大于第二凸起的高度，在第一凸起和第二凸起的側(cè)壁上形成有DBR膜系；各圓臺(tái)狀凸起之間的間距較大，可以生長外延片，有利于提高外延片的生長質(zhì)量，各圓錐狀凸起之間的間距較小，有利于光的多次反射，提高光的提取效率；通過雙周期的圖形化藍(lán)寶石襯底，形成了緩沖層的疊加優(yōu)化，從而使后續(xù)外延生長的外延片質(zhì)量以及光的提取效率得到同步提高。