晶圓倒角設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201620401616.4 申請日 -
公開（公告）號 CN205588094U 公開（公告）日 2016-09-21
申請公布號 CN205588094U 申請公布日 2016-09-21
分類號 B24B9/14(2006.01)I;B24B41/02(2006.01)I;B24B41/06(2012.01)I;B24B55/06(2006.01)I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 朱寧;劉增偉;韓勇 申請（專利權）人 元鴻（山東）光電材料有限公司
代理機構 濟寧眾城專利事務所 代理人 杜言壘
地址 272000 山東省濟寧市高新區(qū)聯(lián)華路8號（信息產業(yè)園內)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 晶圓倒角設備，包括機架，固定設置在機架底座上的研磨裝置，設置在研磨裝置正上方的晶片旋轉裝置，所述晶片旋轉裝置通過軸承座支撐在氣缸的桿部，研磨輪的中部開設V型槽口，V型槽口的中部設有止倒墊，止倒墊的中部開設主通道，主通道向下延伸并與橫向開設于研磨輪下端的副通道相連通，副通道的一端設有風機，另一端設有收納袋；V型槽口的中部設有止倒墊，可以防止加工晶片研磨尺寸過多，進入副通道的顆粒通過風機的工作，被送至收納袋內，免去V型槽口內碎屑顆粒的囤積，降低清理的頻率，晶圓倒角效率大大提高。