一種超高溫藍寶石晶棒退火爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022452460.1 申請日 -
公開（公告）號 CN213680979U 公開（公告）日 2021-07-13
申請公布號 CN213680979U 申請公布日 2021-07-13
分類號 C30B33/02（2006.01）I;C30B29/20（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 戴生伢;張引;錢松根;陳福金;黃振進 申請（專利權(quán)）人 南京理工宇龍新材料科技股份有限公司
代理機構(gòu) 南京行高知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 肖念
地址 211299江蘇省南京市溧水區(qū)東屏鎮(zhèn)工業(yè)園區(qū)金港路15號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了退火爐技術(shù)領(lǐng)域的一種超高溫藍寶石晶棒退火爐，包括退火爐體，退火爐體的外側(cè)通過螺栓和鉸鏈安裝有活動爐門，退火爐體的內(nèi)腔中部橫向安裝有晶棒支架，退火爐體的內(nèi)腔底部安裝有電磁加熱爐，本實用新型通過轉(zhuǎn)動T型調(diào)節(jié)桿在定位螺母上的伸出長度，使藍寶石晶棒能夠被夾緊固定在U型支架和限位壓板之間，使晶棒支架能夠?qū)Σ煌?guī)格的藍寶石晶棒進行夾緊固定工作，再通過控制驅(qū)動電機的轉(zhuǎn)動，經(jīng)過一系列的機械傳動，使固定在U型支架和限位壓板之間的藍寶石晶棒能夠在退火爐體的內(nèi)腔均勻的轉(zhuǎn)動，使藍寶石晶棒與通過注氣接口注入的保護氣體均勻的接觸。