艙門氣壓調整裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010936848.0 申請日 -
公開（公告）號 CN112103170A 公開（公告）日 2020-12-18
申請公布號 CN112103170A 申請公布日 2020-12-18
分類號 H01J49/04;G01N27/62 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 于津;烏月恒 申請（專利權）人 珠海美華醫(yī)療科技有限公司
代理機構 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 代理人 鄭晨鳴
地址 519125 廣東省珠海市唐家灣鎮(zhèn)港灣大道科技一路10號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種艙門氣壓調整裝置，包括質譜儀本體、靶板、升降機構、可開合的艙門、導氣組件和抽真空組件，其中，質譜儀本體內部設置有相互連通的真空腔體和過渡腔體，靶板和升降機構設于真空腔體的內部，升降機構用于驅動靶板上升或下降，當升降機構將靶板升起并置于過渡腔體與真空腔體之間時，過渡腔體與真空腔體相互獨立；艙門設于質譜儀本體上且位于過渡腔體的一側，艙門用于封蓋或打開過渡腔體；導氣組件和抽真空組件均與過渡腔體連通，導氣組件用于向過渡腔體內部導入氣體，抽真空組件用于對過渡腔體內部進行抽真空。根據本發(fā)明的艙門氣壓調整裝置，便于在不破壞質譜儀的真空環(huán)境的情況下，實現(xiàn)樣品的放入與取出。