一種氟化物軸封超薄旋轉(zhuǎn)陰極端頭

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410618362.7 申請日 -
公開（公告）號 CN104357802A 公開（公告）日 2015-02-18
申請公布號 CN104357802A 申請公布日 2015-02-18
分類號 C23C14/34(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 邵海平 申請（專利權(quán)）人 中國工商銀行股份有限公司東莞長安支行
代理機構(gòu) 深圳市千納專利代理有限公司 代理人 邵海平;廣東諦思納為新材料科技有限公司
地址 518000 廣東省深圳市龍崗區(qū)寶龍大道寶清路華豐數(shù)碼科技園7棟
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及立式真空鍍膜設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及一種氟化物軸封超薄旋轉(zhuǎn)陰極端頭。它包括底座，底座中部設(shè)有第一通孔，底座的底部設(shè)有與底座相連接的用于引導液體的引液組件，底座的頂部設(shè)有用于安裝靶桶的下端蓋，所述下端蓋中部設(shè)有第二通孔，引液組件的頭端穿過所述第一通孔和第二通孔，下端蓋與底座之間設(shè)有套在所述引液組件上用于轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)動組件，所述轉(zhuǎn)動組件上還設(shè)有用于密封所述轉(zhuǎn)動組件的密封組件。本發(fā)明通過雙軸承配合同步輪的超薄端頭結(jié)構(gòu),既滿足使用要求，又節(jié)約腔體空間，在制造真空設(shè)備室能節(jié)約了材料使用，降低設(shè)備成本，同時壓縮了真空室空間，等于加大了真空泵的抽速.并且由于厚度比較薄還可適用于舊的真空設(shè)備改造。