一種基于熱電堆的加速度傳感器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201911353292.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN111060715B 公開（公告）日 2022-02-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN111060715B 申請(qǐng)公布日 2022-02-08
分類號(hào) G01P15/03（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 梁曉波;高云端;劉冠華;黃漫國(guó);李欣 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京長(zhǎng)城航空測(cè)控技術(shù)研究所有限公司
代理機(jī)構(gòu) 中國(guó)航空專利中心 代理人 仉宇
地址 100022北京市朝陽(yáng)區(qū)建國(guó)路126號(hào)瑞賽大廈
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種基于熱電堆的加速度傳感器，該加速度傳感器包括封裝體、鍵合層、基板、左熱電堆、右熱電堆和發(fā)熱單元；所述發(fā)熱單元產(chǎn)生熱量，其熱量會(huì)通過(guò)質(zhì)量塊與發(fā)熱單元之間的空氣傳遞給左右熱電堆，當(dāng)有加速度時(shí)，兩個(gè)熱電堆感受到的熱量為穩(wěn)態(tài)，當(dāng)存在加速度時(shí)，質(zhì)量塊的移動(dòng)會(huì)導(dǎo)致質(zhì)量塊與發(fā)熱單元之間的間隙發(fā)生變化或質(zhì)量塊與左右熱電堆的間隙發(fā)生變化，從而影響間隙空間中的空氣量，進(jìn)而導(dǎo)致熱量傳遞的變化，使得左右熱電堆的熱結(jié)果發(fā)生變化，通過(guò)所述變化計(jì)算、推算或映射獲得加速度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低，易于加工，原理簡(jiǎn)單，體積小，集成性好，靈敏度高，不易受到電磁環(huán)境的干擾，可采用微加工工藝進(jìn)行大批量生產(chǎn)。