一種具有除塵功能的PECVD下料裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920059026.1 申請日 -
公開（公告）號 CN209508406U 公開（公告）日 2019-10-18
申請公布號 CN209508406U 申請公布日 2019-10-18
分類號 C23C16/50（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 康天天 申請（專利權）人 高平市融高太陽能開發(fā)有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 048000 山西省晉城市高平市馬村鎮(zhèn)康營村
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了PECVD下料裝置技術領域的一種具有除塵功能的PECVD下料裝置，包括下料本體與機械臂，下料本體頂部內(nèi)壁設置有機械臂，機械臂底部外壁設置有連接板，連接板底部外壁設置有吸盤，下料本體左右兩側中央內(nèi)壁之間設置有托板，托板頂部外壁設置有風刀，下料本體左側底部內(nèi)壁設置有支撐板，支撐板頂部外壁設置有鼓風機，裝置中通過引風機工作，將下料本體內(nèi)部空氣抽入到收集箱中，使清理產(chǎn)生的氮化硅粉塵也被吸收到收集箱中，確保氮化硅粉塵不會四處飛濺，使周圍環(huán)境不被污染，保證工作人員的身體健康。