一種通用掩模夾具
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202022475732.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN213276257U | 公開（公告）日 | 2021-05-25 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN213276257U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-05-25 |
| 分類號(hào) | G03F7/20(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 華衛(wèi)群;尤春;劉維維;楊東海;顧夢(mèng)星;劉浩 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 無錫中微掩模電子有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 無錫蘇元專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 吳忠義 |
| 地址 | 214000江蘇省無錫市新區(qū)菱湖大道202號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種通用掩模夾具，包括底座，所述底座上設(shè)有放置臺(tái)，所述放置臺(tái)上設(shè)有掩模，所述底座上設(shè)有用于夾持不同大小掩模的夾持裝置，本實(shí)用新型通過設(shè)有夾持裝置，可以解決目前階段的掩模夾具存在的諸多不足，解決了在對(duì)于不同的掩模需要不同類型的夾具，無法實(shí)現(xiàn)一種夾具掩模通用的問題，在夾持不同大小的掩模時(shí)無需更換夾具，方便快捷。?? |
