一種激光束曝光機上下料裝置可調(diào)節(jié)支架
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202011530577.5 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN112576893A | 公開（公告）日 | 2021-03-30 |
| 申請公布號 | CN112576893A | 申請公布日 | 2021-03-30 |
| 分類號 | G03F7/20(2006.01)I;F16M11/18(2006.01)I;F16M11/10(2006.01)I;F16D41/12(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I | 分類 | 工程元件或部件；為產(chǎn)生和保持機器或設(shè)備的有效運行的一般措施；一般絕熱; |
| 發(fā)明人 | 華衛(wèi)群;尤春;劉維維;沈鐵成;韋慶宇;楊東海;劉浩 | 申請（專利權(quán)）人 | 無錫中微掩模電子有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 無錫蘇元專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 吳忠義 |
| 地址 | 214000江蘇省無錫市新吳區(qū)菱湖大道202號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種激光束曝光機上下料裝置可調(diào)節(jié)支架，包括支架凹槽座和滾動軸承，所述支架凹槽座后端設(shè)置有插槽，且插槽的內(nèi)部插接有支架立板，所述支架凹槽座的內(nèi)部設(shè)置有凹槽，且支架凹槽座的右側(cè)設(shè)置有彈簧鎖止按鈕，所述滾動軸承的下方設(shè)置有豎板，且滾動軸承位于支架凹槽座的前端，所述凹槽的內(nèi)部螺紋連接有螺釘，且螺釘?shù)南路皆O(shè)置有棘輪，所述棘輪的下方設(shè)置有棘爪，且棘爪的前端設(shè)置有棘爪旋鈕，所述棘輪的前后兩端均設(shè)置有氣動桿，且氣動桿的下方鉸接有底板。該激光束曝光機上下料裝置可調(diào)節(jié)支架，與現(xiàn)有的普通支架相比，角度可調(diào)節(jié)固定支架，結(jié)構(gòu)簡單、操作方便、符合人體工程學要求、有效降低了不可控因素帶來的資源浪費。?? |
