用于連續(xù)制備大面積鈣鈦礦組件的設(shè)備
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202022295678.0 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN213278121U | 公開（公告）日 | 2021-05-25 |
| 申請公布號 | CN213278121U | 申請公布日 | 2021-05-25 |
| 分類號 | H01L51/48(2006.01)I;H01L51/42(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 牛歡歡;袁晨辰;陳偉中;田清勇;范斌 | 申請（專利權(quán)）人 | 昆山協(xié)鑫光電材料有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 南京利豐知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 趙世發(fā) |
| 地址 | 215300江蘇省蘇州市昆山市玉山鎮(zhèn)元豐路199號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型公開了一種用于連續(xù)制備大面積鈣鈦礦組件的設(shè)備，其包括：第一鈣鈦礦組件加工機構(gòu)，其至少用于制作形成第一鈣鈦礦層；第二鈣鈦礦組件加工機構(gòu)，其至少用于制作形成第二鈣鈦礦層；第一傳送機構(gòu)，其至少用于將制作形成的第一部分結(jié)構(gòu)輸送至退火機構(gòu)；第二傳送機構(gòu)，其至少用于將制作形成的第二部分結(jié)構(gòu)輸送至退火機構(gòu)；退火機構(gòu)，其至少用于對所述第一鈣鈦礦層和第二鈣鈦礦層進行退火處理，同時，使所述第一部分結(jié)構(gòu)中的第一鈣鈦礦層與第二部分結(jié)構(gòu)中的第二鈣鈦礦層結(jié)合為一體。本實用新型不僅提高了設(shè)備利用率，還減少鈣鈦礦活性層在空氣中的暴露時間，從而可進行大面積連續(xù)性制備。?? |
