一種干法刻蝕用12寸機(jī)臺(tái)改8寸治具

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202121746750.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN215183896U 公開（公告）日 2021-12-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN215183896U 申請(qǐng)公布日 2021-12-14
分類號(hào) H01L21/683（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 鄧宇;陳銀培 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 浙江美迪凱光學(xué)半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州華知專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張德寶
地址 314400浙江省嘉興市海寧市長(zhǎng)安鎮(zhèn)（高新區(qū)）新潮路15號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種干法刻蝕用12寸機(jī)臺(tái)改8寸治具，包括12寸底座，12寸底座中心開設(shè)有8寸凹槽，8寸凹槽與12寸底座為同心圓，8寸凹槽底部貼有雙面高溫膠帶，8寸凹槽內(nèi)雙面高溫膠帶上貼附8寸待加工晶圓。高溫膠帶的作用為防止8寸晶圓在腔體內(nèi)傳輸過程中打滑；采用高溫膠帶目的為防止腔體內(nèi)溫度過高導(dǎo)致膠帶軟化變形。該干法刻蝕用12寸機(jī)臺(tái)改8寸治具可以在不改造機(jī)臺(tái)的情況下，在12寸干法刻蝕設(shè)備上進(jìn)行8寸晶圓的作業(yè)，提升設(shè)備的兼容性，節(jié)省成本。