一種用于晶圓檢測的Z-Theta組合裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110845560.7 申請日 -
公開（公告）號 CN113299585A 公開（公告）日 2021-08-24
申請公布號 CN113299585A 申請公布日 2021-08-24
分類號 H01L21/67（2006.01）I;H01L21/68（2006.01）I;H01L21/66（2006.01）I;G01N33/00（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 郭建華 申請（專利權）人 武漢中導光電設備有限公司
代理機構 武漢智權專利代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 李景
地址 430000湖北省武漢市武漢經濟技術開發(fā)區(qū)高科技產業(yè)園16號樓4樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及晶圓檢測技術領域，特別涉及一種用于晶圓檢測的Z?Theta組合裝置。本申請?zhí)峁┑腪?Theta組合裝置，包括：底板；Z軸模塊，包括Z軸負載板和楔狀的Z軸滑塊，Z軸滑塊放置在底板上，Z軸負載板滑動設置在Z軸滑塊的頂端斜面上；第一驅動裝置，用于驅動Z軸滑塊沿著底板在水平方向移動，Z軸滑塊水平移動后帶動Z軸負載板沿著豎直方向移動；T軸模塊，包括設置在Z軸負載板上方的T軸負載板；第二驅動裝置，用于驅動T軸負載板旋轉運動；吸盤，設置在T軸負載板的上方，用于放置晶圓，吸盤上開設若干小孔；頂桿組，其一端連接在所述底板上，另一端穿過Z軸負載板后伸入吸盤的小孔內，頂桿組在吸盤的位置下降后將晶圓頂起。