一種光學(xué)成像檢測方法及設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910447147.8 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN110186930B 公開（公告）日 2021-09-03
申請公布號(hào) CN110186930B 申請公布日 2021-09-03
分類號(hào) G01N21/88;G01N21/95;G01N21/956;G01M11/00 分類 測量；測試;
發(fā)明人 李波;王建存 申請（專利權(quán)）人 武漢中導(dǎo)光電設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 武漢智權(quán)專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 張凱
地址 430000 湖北省武漢市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)車城南路69號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種光學(xué)成像檢測方法及設(shè)備，檢測方法包括以下步驟：設(shè)置照明裝置的多種不同的發(fā)光強(qiáng)度，且發(fā)光強(qiáng)度的種類數(shù)為N，其中，N為大于等于2的正整數(shù)；使檢測樣品和成像裝置之間沿預(yù)設(shè)的軌跡相對運(yùn)動(dòng)，所述成像裝置拍攝多張照片并完成整個(gè)檢測樣品的拍攝；所述成像裝置具有成像視場長度L，在沿所述軌跡拍攝時(shí)，所述成像裝置與所述檢測樣品每相對運(yùn)動(dòng)距離M，所述成像裝置成像一次，且0