一種成像線下控制玻璃基板飄高的氣浮裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920773971.8 申請日 -
公開（公告）號 CN210102923U 公開（公告）日 2020-02-21
申請公布號 CN210102923U 申請公布日 2020-02-21
分類號 B65G49/06 分類 輸送；包裝；貯存；搬運薄的或細絲狀材料;
發(fā)明人 郭建華;杜晗 申請（專利權）人 武漢中導光電設備有限公司
代理機構 武漢智權專利代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 武漢中導光電設備有限公司
地址 430000 湖北省武漢市經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)車城南路69號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種成像線下控制玻璃基板飄高的氣浮裝置，屬于玻璃基板輸送設備技術領域，其包括：承托玻璃的氣浮平臺，所述氣浮平臺的上方設有檢測玻璃的光學檢測單元；上氣壓裝置，所述上氣壓裝置設置在光學檢測單元上，所述上氣壓裝置設有進氣口和出氣口，所述出氣口朝氣浮平臺的方向吹出氣體，所述上氣壓裝置的進氣口設有比例閥，所述比例閥用于調(diào)節(jié)上氣壓裝置的氣壓。該氣浮裝置的上氣壓裝置的出氣口向下朝氣浮平臺的方向吹出氣體，上氣壓裝置吹出的氣體增強了玻璃基板邊緣上方的氣流壓強，上氣壓裝置吹出的氣體用于抵消玻璃基板下方氣流的氣流壓強，平衡玻璃基板邊緣上翹的趨勢，提高玻璃基板的平面度。