硅片校正機(jī)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202021013605.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN213340324U 公開（公告）日 2021-06-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN213340324U 申請(qǐng)公布日 2021-06-01
分類號(hào) H01L21/67（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I;H01L21/68（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 孫松 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州邁為科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 唐清凱
地址 215200江蘇省蘇州市吳江區(qū)經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)龐金路1801號(hào)龐金工業(yè)坊D02幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種硅片校正機(jī)構(gòu)，包括：底座；兩個(gè)推片件，均可滑動(dòng)地設(shè)在所述底座上，兩個(gè)所述推片件相對(duì)設(shè)置；運(yùn)動(dòng)件，可滑動(dòng)地設(shè)在所述底座上，所述運(yùn)動(dòng)件上開設(shè)有兩個(gè)運(yùn)動(dòng)滑軌，兩個(gè)所述推片件分別滑動(dòng)與兩個(gè)所述運(yùn)動(dòng)滑軌滑動(dòng)連接，所述運(yùn)動(dòng)件在第一方向上運(yùn)動(dòng)時(shí)，帶動(dòng)兩個(gè)所述推片件朝相互靠近或相互遠(yuǎn)離；兩個(gè)所述推片件用于在相互靠近時(shí)對(duì)硅片夾持校正；驅(qū)動(dòng)裝置，連接所述運(yùn)動(dòng)件，用于帶動(dòng)所述運(yùn)動(dòng)件在所述第一方向上運(yùn)動(dòng)?，F(xiàn)有技術(shù)中需要兩個(gè)氣缸連接兩個(gè)推片件，本實(shí)施方式中通過運(yùn)動(dòng)件的設(shè)置，使得單個(gè)氣缸可以帶動(dòng)兩個(gè)推片件相互靠近或相互遠(yuǎn)離，節(jié)省了硅片校正機(jī)構(gòu)的成本。??