一種用于制備金剛石的基臺組件

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510870990.9 申請日 -
公開（公告）號 CN106811737B 公開（公告）日 2019-05-07
申請公布號 CN106811737B 申請公布日 2019-05-07
分類號 C23C16/458（2006.01）I; C23C16/27（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 唐永炳; 朱雨; ?；芑?/td> 申請（專利權(quán)）人 徐州景瀾新材料科技有限公司
代理機構(gòu) 深圳中一專利商標事務所 代理人 中國科學院深圳先進技術(shù)研究院
地址 221000 江蘇省徐州市泉山區(qū)泉山經(jīng)濟開發(fā)區(qū)騰飛路6號泉山經(jīng)濟開發(fā)區(qū)管委會1-295
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明適用于金剛石合成技術(shù)領(lǐng)域，提供了一種用于制備金剛石的基臺組件，包括水冷臺和設(shè)置在所述水冷臺上的基片托，所述水冷臺和所述基片托緊密連接，其中，所述基片托近外邊緣處的上下表面開設(shè)環(huán)形槽，分別形成上熱橋和下熱橋，所述水冷臺和所述基片托之間設(shè)置有導熱墊圈，所述導熱墊圈設(shè)置在所述基片托下表面、以所述下熱橋為界的外圈部分。