一種磁性陣列的制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200810045292.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN101329938B 公開（公告）日 2011-10-26
申請(qǐng)公布號(hào) CN101329938B 申請(qǐng)公布日 2011-10-26
分類號(hào) H01F10/08(2006.01)I;H01F41/32(2006.01)I;H01F41/34(2006.01)I;G11B5/00(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李元?jiǎng)?宋遠(yuǎn)強(qiáng);劉穎力;張懷武;鐘智勇;邊麗菲;查杰 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 東莞成電創(chuàng)新電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 610054 四川省成都市建設(shè)北路二段四號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于電子材料技術(shù)領(lǐng)域，涉及平面磁性陣列器件的制備方法。先將永磁陣列母板固定于基底下表面，然后在基底上表面均勻涂覆納米鐵氧體/光敏聚合物復(fù)合材料，然后靜置待納米鐵氧體磁性粒子在永磁陣列母板磁場(chǎng)的作用下按照母板的陣列圖形排布后曝光實(shí)現(xiàn)納米鐵氧體磁性粒子的固化，最后去除永磁陣列模板即可得到相應(yīng)的磁性陣列。本發(fā)明實(shí)質(zhì)上是利用永磁陣列母板復(fù)制磁性陣列；同時(shí)，本發(fā)明利用光敏聚合物來固定磁性陣列中的納米鐵氧體磁性粒子，解決了現(xiàn)有技術(shù)中“因圖形分辨率下降導(dǎo)致器件失效”的技術(shù)問題。本發(fā)明工藝簡(jiǎn)單、操作容易、無需光刻和成本低廉，適于大規(guī)模生產(chǎn)，在微電子、光電子、磁記錄及微波器件領(lǐng)域中具有廣泛的應(yīng)用前景。