一種含鈮或鉭的有機化合物的制備方法、產物及應用
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202010423502.0 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN111440210A | 公開（公告）日 | 2020-07-24 |
| 申請公布號 | CN111440210A | 申請公布日 | 2020-07-24 |
| 分類號 | C07F9/00(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 沈芝龍;張學奇;李建恒 | 申請（專利權）人 | 合肥安德科銘半導體科技有限公司 |
| 代理機構 | 寧波中致力專利代理事務所（普通合伙） | 代理人 | 合肥安德科銘半導體科技有限公司 |
| 地址 | 230088安徽省合肥市高新區(qū)創(chuàng)新大道106號明珠產業(yè)園3號樓5層E區(qū) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了一種含鈮或鉭的有機化合物的制備方法，能夠將iPrN＝M(NR1R2)3(M為Nb或Ta)的產率提升至60％以上，其產物iPrN＝M(NR1R2)3(M為Nb或Ta)具有更適合的分解溫度，在熱型ALD或PEALD制備薄膜領域的應用，能夠滿足熱型ALD或PEALD對前驅體的溫度要求，能夠實現了更高溫度的金屬氧化物、氮化物薄膜的ALD沉積。?? |
