一種硅料微波加熱冷淬干燥自動(dòng)化生產(chǎn)裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202120368441.2 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN214271111U | 公開（公告）日 | 2021-09-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN214271111U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-09-24 |
| 分類號(hào) | C30B35/00（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I;F26B3/347（2006.01）I | 分類 | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 張紀(jì)堯;甄崇禮;廖潔嫻;趙學(xué)燕 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 山東澳聯(lián)新材料有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 淄博啟智達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 王燕 |
| 地址 | 255086山東省淄博市張店區(qū)高新區(qū)魯泰大道51號(hào)高分子材料創(chuàng)新園B座1519 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提供一種硅料微波加熱冷淬干燥自動(dòng)化生產(chǎn)裝置，包括隧道式的微波加熱系統(tǒng)、冷介質(zhì)驟冷系統(tǒng)、微波干燥系統(tǒng)和物料輸送系統(tǒng)，所述物料輸送系統(tǒng)依次貫穿微波加熱系統(tǒng)、冷介質(zhì)驟冷系統(tǒng)、微波干燥系統(tǒng)，還包括抑波閘門；所述微波加熱系統(tǒng)包括加熱緩沖腔和微波加熱腔；所述加熱緩沖腔分別設(shè)置在微波加熱腔的前后兩端；所述抑波閘門配合設(shè)置在加熱緩沖腔前后兩端。與現(xiàn)有技術(shù)相比，將裝有硅料的托盤限制在兩道抑波閘門與加熱緩沖腔、干燥緩沖腔、微波加熱腔、微波干燥腔和水爆腔構(gòu)成的空間內(nèi)，通過設(shè)置物料升降機(jī)構(gòu)和龍門式機(jī)械手，減少了外來雜質(zhì)的污染，減少了對(duì)人體的輻射。 |
