一種測(cè)試油回收裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201920199459.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN209461422U | 公開（公告）日 | 2019-10-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN209461422U | 申請(qǐng)公布日 | 2019-10-01 |
| 分類號(hào) | H01L21/67;B01D1/00;B01D1/30;B01D5/00;B01D53/00;G01R31/26 | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 汪良恩;孫培剛 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 安徽安芯電子科技股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海華誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 安徽安芯電子科技股份有限公司 |
| 地址 | 247100 安徽省池州市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)富安電子信息產(chǎn)業(yè)園10號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種測(cè)試油回收裝置，包含箱體，所述箱體設(shè)有可供晶圓托盤進(jìn)出的箱門，所述箱體內(nèi)設(shè)有放置晶圓托盤的托架，箱體的底板呈斗型，底板的最低處設(shè)有接油管，接油管連接有接油箱，所述接油箱的底部設(shè)有排油閥，所述箱體上設(shè)有進(jìn)風(fēng)口和出風(fēng)口，所述晶圓托盤位于進(jìn)風(fēng)口和出風(fēng)口之間，所述進(jìn)風(fēng)口與風(fēng)機(jī)的吹風(fēng)口相連接，所述出風(fēng)口與冷凝裝置的冷凝管相連接，所述冷凝管的出油端接入冷凝油箱中。本實(shí)用新型不僅對(duì)晶圓和晶圓托盤上滴落的測(cè)試油進(jìn)行回收，還對(duì)蒸發(fā)的測(cè)試油進(jìn)行回收再利用，回收率高達(dá)95％以上，極大的節(jié)省了測(cè)試油的使用成本，且且加快了晶圓上測(cè)試油的蒸發(fā)效率，節(jié)省晶圓測(cè)試油蒸發(fā)時(shí)間，提高工作效率。 |
