一種用于極高真空系統(tǒng)的鈦升華泵結構及其使用方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210288338.6 申請日 -
公開（公告）號 CN114678252A 公開（公告）日 2022-06-28
申請公布號 CN114678252A 申請公布日 2022-06-28
分類號 H01J37/32（2006.01）I;C23C14/16（2006.01）I;C23C14/26（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 焦紀強;蒙峻;羅成;柴振;謝文君;楊偉順;萬亞鵬;劉建龍;李長春;魏寧斐 申請（專利權）人 中國科學院近代物理研究所
代理機構 北京紀凱知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 -
地址 730000甘肅省蘭州市南昌路509號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種用于極高真空系統(tǒng)的鈦升華泵結構及其使用方法，包括：泵體，所述泵體的底部形成有接口；泵芯，所述泵芯套設在所述泵體內，所述泵芯的頂端與外部電源連接；若干個鈦膜沉積板，若干個所述鈦膜沉積板固定安裝在所述泵體的內壁，所述鈦膜沉積板與所述泵芯隔開。鈦升華泵結構還包括冷凝管道，所述冷凝管道纏繞在所述泵體的外壁上，所述冷凝管道的一端為冷凝介質入口，另一端為冷凝介質出口。增加極高真空系統(tǒng)中鈦升華泵的抽氣面積，同時有效降低鈦膜沉積面的溫度，提升鈦升華泵抽速，使之能滿足真空系統(tǒng)中極高真空度的要求。