使用多個(gè)電子束的圖案化襯底成像
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201880027570.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN110770874B | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-06-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN110770874B | 申請(qǐng)公布日 | 2022-06-24 |
| 分類號(hào) | H01J37/256 | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 焱·趙;孫偉強(qiáng);馮濤 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 東方晶源微電子科技（北京）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 | 代理人 | 郝傳鑫;熊永強(qiáng) |
| 地址 | 100176 北京市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)經(jīng)海四路156號(hào)院12號(hào)樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 一種使用多束成像系統(tǒng)對(duì)襯底表面成像的方法，包括：使用多極場(chǎng)裝置修改電子束；使用具有多個(gè)孔的分束裝置從電子束生成小束；響應(yīng)于將小束的焦點(diǎn)投射到表面上，使用偏轉(zhuǎn)器組驅(qū)動(dòng)小束以掃描表面區(qū)域以基于從該區(qū)域散射的電子接收信號(hào)；以及基于所述信號(hào)確定用于檢查的區(qū)域的圖像。多束成像系統(tǒng)包括：電子源；用于束成形和束畸變校正的第一多極場(chǎng)裝置；分束裝置；投射透鏡組；偏轉(zhuǎn)器組；物鏡組；檢測(cè)器陣列；第二多極場(chǎng)裝置；處理器；以及存儲(chǔ)器，存儲(chǔ)用于基于所述信號(hào)確定用于檢查的區(qū)域的圖像的指令。 |
