一種優(yōu)化掩模版圖的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710351038.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN108931883A 公開(kāi)（公告）日 2018-12-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN108931883A 申請(qǐng)公布日 2018-12-04
分類號(hào) G03F1/38 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 施偉杰;高澎錚 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 東方晶源微電子科技（北京）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市智享知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 東方晶源微電子科技（北京）有限公司;深圳晶源信息技術(shù)有限公司
地址 100176 北京市大興區(qū)北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)經(jīng)海四路156號(hào)院12號(hào)樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種優(yōu)化掩模版圖的方法，包括步驟S1：提供已布局的芯片設(shè)計(jì)圖形的掩模版圖，掩模版圖包括第一主圖形以及布設(shè)在第一主圖形周圍的多個(gè)第一亞分辨率輔助圖形，還包括第二主圖形以及布設(shè)在第二主圖形周圍的多個(gè)第二亞分辨率輔助圖形，所述第一亞分辨率輔助圖形和第二亞分辨率輔助圖形定義一沖突區(qū)域；步驟S2：在掩模版圖上截取所述沖突區(qū)域，并獲取該沖突區(qū)域的透光率分布灰度圖，根據(jù)透光率分布灰度圖的灰度值統(tǒng)計(jì)量大小為該沖突區(qū)域內(nèi)的亞分辨率輔助圖形設(shè)定優(yōu)先級(jí)；步驟S3：去除優(yōu)先級(jí)低的亞分辨率輔助圖形，獲取優(yōu)化后的掩模版圖。本發(fā)明可以有效的補(bǔ)充主圖形周圍的空間頻率。