使用多個(gè)電子束的圖案化襯底成像

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201880027570.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN110770874A 公開（公告）日 2020-02-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN110770874A 申請(qǐng)公布日 2020-02-07
分類號(hào) H01J37/256 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 焱·趙;孫偉強(qiáng);馮濤 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 東方晶源微電子科技（北京）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 東方晶源微電子科技（北京）有限公司
地址 100176 北京市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)經(jīng)海四路156號(hào)院12號(hào)樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種使用多束成像系統(tǒng)對(duì)襯底表面成像的方法，包括：使用多極場裝置修改電子束；使用具有多個(gè)孔的分束裝置從電子束生成小束；響應(yīng)于將小束的焦點(diǎn)投射到表面上，使用偏轉(zhuǎn)器組驅(qū)動(dòng)小束以掃描表面區(qū)域以基于從該區(qū)域散射的電子接收信號(hào)；以及基于所述信號(hào)確定用于檢查的區(qū)域的圖像。多束成像系統(tǒng)包括：電子源；用于束成形和束畸變校正的第一多極場裝置；分束裝置；投射透鏡組；偏轉(zhuǎn)器組；物鏡組；檢測器陣列；第二多極場裝置；處理器；以及存儲(chǔ)器，存儲(chǔ)用于基于所述信號(hào)確定用于檢查的區(qū)域的圖像的指令。