一種解決掩模版著色邊界沖突的方法、裝置和計算機(jī)設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210260536.1 申請日 -
公開（公告）號 CN114638189A 公開（公告）日 2022-06-17
申請公布號 CN114638189A 申請公布日 2022-06-17
分類號 G06F30/392（2020.01）I;G06T11/00（2006.01）I;G03F7/20（2006.01）I 分類 計算；推算；計數(shù);
發(fā)明人 陳運(yùn);張生睿 申請（專利權(quán)）人 東方晶源微電子科技（北京）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市智享知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 100176北京市大興區(qū)北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)經(jīng)海四路156號院12號樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及光刻技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種解決著色邊界沖突的方法、裝置及計算機(jī)設(shè)備，包括以下步驟：S0：提供初始掩模版圖；S1：將初始掩模版圖劃分成多個分塊，分塊內(nèi)包含多個子單元，且每個分塊內(nèi)包含初始子單元和關(guān)鍵子單元；S2：選擇初始掩模版圖預(yù)定區(qū)域作為初始分塊集合，所述初始分塊集合包括至少一個分塊，并對所述初始分塊集合內(nèi)的每個分塊的子單元通過預(yù)設(shè)的著色函數(shù)進(jìn)行著色，得到著色后的初始分塊集合；S3：通過所述著色函數(shù)以及著色后的所述初始分塊集合中每個分塊的所述關(guān)鍵子單元對其他分塊進(jìn)行著色，得到著色掩模圖形。本發(fā)明提供的方法提高了解決著色邊界沖突問題的效率。