磁體用調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410083058.7 申請日 -
公開（公告）號 CN103849846B 公開（公告）日 2015-12-09
申請公布號 CN103849846B 申請公布日 2015-12-09
分類號 C23C14/35(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 盧秀強(qiáng);熊樹林;李響 申請（專利權(quán)）人 東莞銀行股份有限公司虎門支行
代理機(jī)構(gòu) 廣州三環(huán)專利代理有限公司 代理人 張艷美;郝傳鑫
地址 523000 廣東省東莞市虎門鎮(zhèn)龍眼十五路79號廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種磁體用調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，適用于磁控濺射鍍膜機(jī)，磁控濺射鍍膜機(jī)包括鍍膜室、加熱保溫板、靶材、安裝架及呈板狀結(jié)構(gòu)的磁體，加熱保溫板及靶材均設(shè)于鍍膜室內(nèi)，且靶材位于加熱保溫板的一側(cè)，安裝架安裝于鍍膜室的外部；磁體呈移動的設(shè)于安裝架，磁體位于加熱保溫板的另一側(cè)且兩者呈間隔開的設(shè)置，磁體用調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)設(shè)于磁體及安裝架之間，磁體用調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括移磁調(diào)節(jié)組件及均磁調(diào)節(jié)組件，移磁調(diào)節(jié)組件及均磁調(diào)節(jié)組件均設(shè)于磁體及安裝架之間，通過移磁調(diào)節(jié)組件驅(qū)使磁體相對靶材沿平行于靶材的方向做平移調(diào)節(jié)操作，通過均磁調(diào)節(jié)組件驅(qū)使磁體彎曲以調(diào)節(jié)磁體兩端與靶材的距離。從而實(shí)現(xiàn)根據(jù)實(shí)際的需求對磁體進(jìn)行調(diào)節(jié)。