烤箱控制系統(tǒng)及烤箱

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020285320.7 申請日 -
公開（公告）號 CN211507577U 公開（公告）日 2020-09-15
申請公布號 CN211507577U 申請公布日 2020-09-15
分類號 H01L21/67(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 曾梓鑫;邱振中;文亞東;覃尚壇 申請（專利權）人 上海利揚創(chuàng)芯片測試有限公司
代理機構 廣州三環(huán)專利商標代理有限公司 代理人 上海利揚創(chuàng)芯片測試有限公司
地址 200000上海市嘉定區(qū)永盛路2229號3幢1層、2層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開一種烤箱控制系統(tǒng)，包括氮氣輸送裝置、含氧量監(jiān)控儀、溫度采集裝置、加熱裝置、計時器及控制裝置，氮氣輸送裝置用于輸送氮氣至烤箱腔體內，含氧量監(jiān)控儀用于監(jiān)控烤箱腔體內的含氧量，控制裝置于含氧量下降至預設含氧值時控制加熱裝置開始加熱，溫度采集裝置用于采集烤箱腔體內的溫度信息，控制裝置于烤箱腔體內的溫度達到預設烘烤溫度時控制計時器開始計算加熱時長，并于加熱時長達到預設烘烤時長時控制加熱裝置停止加熱。本實用新型自動化程度高，實現(xiàn)了實時監(jiān)控烤箱腔體內的烘烤溫度、烘烤時長及含氧量，整個高溫烘烤測試過程中無需人工監(jiān)控。另，本實用新型還公開一種具有上述烤箱控制系統(tǒng)的烤箱。??