用于晶圓測(cè)試的MAP圖偏移檢測(cè)方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011585192.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN112683210A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-04-20 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112683210A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-04-20 |
| 分類號(hào) | G01B21/00(2006.01)I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 徐展菲;莊啟陞;張亦鋒 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 上海利揚(yáng)創(chuàng)芯片測(cè)試有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 | 代理人 | 張艷美;劉光明 |
| 地址 | 200000上海市嘉定區(qū)永盛路2229號(hào)3幢1層、2層 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種用于晶圓測(cè)試的MAP圖偏移檢測(cè)方法，該方法包括如下步驟：獲取晶圓的MAP圖；從MAP圖的設(shè)定坐標(biāo)區(qū)域獲取其最外圍N圈內(nèi)的坐標(biāo)點(diǎn)的所有BIN項(xiàng)；計(jì)算所有BIN項(xiàng)中含有的失敗BIN項(xiàng)的比例；判斷所有BIN項(xiàng)中含有的失敗BIN項(xiàng)的比例是否達(dá)到或超過(guò)預(yù)設(shè)基準(zhǔn)值，如果判斷結(jié)果為是，則判定MAP圖發(fā)生偏移。本發(fā)明MAP圖偏移檢測(cè)方法能夠及時(shí)發(fā)現(xiàn)MAP圖出現(xiàn)偏移的情況。?? |
