一種滾筒式攪拌式清洗硅片裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201821784911.8 申請日 -
公開（公告）號 CN209406962U 公開（公告）日 2019-09-20
申請公布號 CN209406962U 申請公布日 2019-09-20
分類號 B08B3/08（2006.01）I; B08B3/10（2006.01）I; B08B3/12（2006.01）I; B08B13/00（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 汪偉華 申請（專利權）人 浙江羿陽材料科技有限公司
代理機構 浙江永鼎律師事務所 代理人 陸永強
地址 313200 浙江省湖州市莫干山高新區(qū)武康鎮(zhèn)長虹中街339號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種滾筒式攪拌式清洗硅片裝置，包括底座，所述底座上固定設有攪拌箱，所述攪拌箱下設有空腔一，所述攪拌箱的側壁內開設有空腔二，所述空腔二內填充有導熱介質，所述導熱介質內設有若干加熱棒，所述攪拌箱設有封蓋，所述攪拌箱內設有凹槽，所述凹槽內設有轉盤，所述轉盤上固定設有立柱，所述立柱周圍與所述轉盤之間固定設有攪拌擋板，所述攪拌擋板遠離所述立柱的一側中部固定設有攪拌桿。有益效果：相較于普通的浸泡清洗，針對性的清潔，增加了清洗的潔凈度和清洗效率。增加了去除有機污染物的力度。通過在空腔一內設有超聲波發(fā)生器，使得攪拌箱內的硅片在經受攪拌清洗外，增加超聲波清洗，雙重清洗，進一步的增加清洗的力度。