一種簡(jiǎn)易高效的植球裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022611396.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN214672506U 公開（公告）日 2021-11-09
申請(qǐng)公布號(hào) CN214672506U 申請(qǐng)公布日 2021-11-09
分類號(hào) H01L21/48（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 楊東升;師建行;尹庭輝;劉思怡;沈國(guó)策 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 南京國(guó)博電子股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京君陶專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 嚴(yán)海晨
地址 210016江蘇省南京市江寧區(qū)秣陵街道正方中路166號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種簡(jiǎn)易高效的植球裝置，包括真空吸附平臺(tái)及網(wǎng)板，真空吸附平臺(tái)有兩路獨(dú)立的真空，分別對(duì)待植球芯片及網(wǎng)板進(jìn)行真空吸附固定；網(wǎng)板通過(guò)硅片或玻璃制作，網(wǎng)板上表面通過(guò)腐蝕形成腔體，中部通過(guò)腐蝕或激光切割形成與待植球芯片對(duì)應(yīng)的通孔。植球時(shí)，先通過(guò)一路真空管路吸附待植球芯片，另一路真空管路吸附助焊劑印刷網(wǎng)板，然后印刷助焊劑，接著取下網(wǎng)板；接著通過(guò)另一路真空管路吸附植球網(wǎng)板進(jìn)行植球后垂直取下植球網(wǎng)板，然后將已植球芯片放入爐中回流即可。優(yōu)點(diǎn)：該裝置制造周期短、加工成本低、使用簡(jiǎn)易方便，便于不同產(chǎn)品間的簡(jiǎn)便切換。通過(guò)硅片做網(wǎng)板解決了傳統(tǒng)鋼網(wǎng)存在的翹曲，實(shí)現(xiàn)超小球的高精度、高效率植球工藝。