用于晶圓升降的頂針支撐部件的裝配方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011053640.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN112192496A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-01-08 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112192496A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-01-08 |
| 分類(lèi)號(hào) | B25B27/00(2006.01)I;F16B11/00(2006.01)I | 分類(lèi) | 手動(dòng)工具；輕便機(jī)動(dòng)工具；手動(dòng)器械的手柄；車(chē)間設(shè)備；機(jī)械手; |
| 發(fā)明人 | 賈昆良 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 江蘇先鋒精密科技股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 靖江市靖泰專(zhuān)利事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 靖江先鋒半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 地址 | 214500江蘇省泰州市靖江市城南園區(qū)德裕路8號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種用于晶圓升降的頂針支撐部件的裝配方法，包括以下步驟：(a)設(shè)計(jì)裝配工裝；（b)加工裝配工裝；(c）對(duì)裝配工裝進(jìn)行本色陽(yáng)極氧化處理；（d)將三個(gè)陶瓷頂針?lè)湃腠斸樋變?nèi)，在底部安裝支撐底座，三個(gè)陶瓷頂針插進(jìn)支撐底座陶瓷頂針孔內(nèi)；將兩個(gè)定位銷(xiāo)裝入支撐底座和裝配工裝定位銷(xiāo)孔中,兩個(gè)螺釘將支撐底座緊固在裝配工裝上；(e)用工具輕壓陶瓷頂針尾部，使三個(gè)陶瓷頂針頭部與裝配工裝接觸,在支撐底座上陶瓷頂針孔內(nèi)灌環(huán)氧樹(shù)脂密封膠固定陶瓷頂針；(f)從裝配工裝上卸下安裝好的頂針支撐部件，放入烤箱，設(shè)定溫度110~130°烘烤3~4小時(shí)即可。本發(fā)明裝配方便，保證了裝配質(zhì)量，大幅度提高了工作效率。?? |
