干法刻蝕機用多功能安裝調(diào)試平臺
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202010519993.9 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN111584410A | 公開（公告）日 | 2020-08-25 |
| 申請公布號 | CN111584410A | 申請公布日 | 2020-08-25 |
| 分類號 | H01L21/67(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 楊冬野;袁蕾 | 申請（專利權(quán)）人 | 蘇州芯慧聯(lián)半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 北京科億知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 湯東鳳 |
| 地址 | 215000江蘇省蘇州市常熟市常熟高新區(qū)技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)金門路2號2幢 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明揭示了干法刻蝕機用多功能安裝調(diào)試平臺，包括升降移動的升降平臺裝置、設(shè)于升降平臺裝置內(nèi)的旋轉(zhuǎn)裝置、以及設(shè)于旋轉(zhuǎn)裝置頂部的伸縮平臺裝置；伸縮平臺裝置包括基板、設(shè)于基板頂部的導(dǎo)軌連扳、設(shè)于導(dǎo)軌連扳上沿其長度方向設(shè)置的上導(dǎo)軌和下導(dǎo)軌、配合上導(dǎo)軌沿其滑動的上手臂支架、配合下導(dǎo)軌沿其滑動的下手臂支架、以及相對平行設(shè)于上手臂支架側(cè)邊和設(shè)于下手臂支架側(cè)邊的若干手臂支撐體，手臂支撐體承載待刻蝕產(chǎn)品，旋轉(zhuǎn)裝置內(nèi)旋轉(zhuǎn)的主軸連接基板。本發(fā)明實現(xiàn)了在干法刻蝕機內(nèi)有效調(diào)試液晶顯示屏的位置，達到最佳刻蝕效果。?? |
