用于半導(dǎo)體基板的搬運(yùn)手臂
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202022825336.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212342593U | 公開（公告）日 | 2021-01-12 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212342593U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-01-12 |
| 分類號(hào) | H01L21/677;H01L21/683 | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 楊冬野;袁蕾 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 蘇州芯慧聯(lián)半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京科億知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 湯東鳳 |
| 地址 | 215000 江蘇省蘇州市常熟市常熟高新區(qū)技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)金門路2號(hào)2幢 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型揭示了用于半導(dǎo)體基板的搬運(yùn)手臂，包括固定板、可拆卸連接固定板同側(cè)且平行間隔設(shè)置的多個(gè)條形支撐體、多個(gè)嵌入條形支撐體內(nèi)的吸附組件，所述條形支撐體底部設(shè)有連通各吸附組件的真空吸附管，所述吸附組件包括固定座、設(shè)于固定座底部的固定塊、設(shè)于固定座頂部的固定槽、設(shè)于固定槽中的安裝座、彈性嵌入安裝座內(nèi)的蓋板、設(shè)于蓋板內(nèi)部空腔中用于彈性支撐固定座與蓋板的吸盤；所述固定塊中貫穿設(shè)有連通真空吸附管和蓋板內(nèi)部空腔的真空孔，蓋板上開設(shè)有連通其內(nèi)部空腔的吸附孔。本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)了提高搬運(yùn)手臂的穩(wěn)定性，具備抗震性和抗氧化性。 |
