一種聲表面波元件的制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201210184716.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN102694518A 公開（公告）日 2012-09-26
申請(qǐng)公布號(hào) CN102694518A 申請(qǐng)公布日 2012-09-26
分類號(hào) H03H3/08(2006.01)I 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 林波 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 臺(tái)州歐文電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 317525 浙江省溫嶺市大溪鎮(zhèn)山市應(yīng)錢工業(yè)區(qū)白塔路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種聲表面波元件的制備方法，屬于聲表面波技術(shù)領(lǐng)域。它解決了現(xiàn)有的聲表面波制備方法良率不高的問題。本發(fā)明聲表面波元件的制備方法，其包括步驟：S1：真空磁控濺射鍍膜；真空磁控濺射鍍膜時(shí)，真空度控制在1.2X10-7至2x10-7乇，加熱溫度最高為400℃，濺射速度為1.2um/min；S2：均勻涂感光膠；S3：光刻。本發(fā)明通過采用特殊工藝制備聲表面元件，通過控制生產(chǎn)精度和生產(chǎn)環(huán)境使得聲表面波元件的良品率在大規(guī)模生產(chǎn)時(shí)能達(dá)到95％以上，節(jié)約材料且便于大規(guī)?；茝V和應(yīng)用。