一種適用于晶圓芯片加工的自動化設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022845316.4 申請日 -
公開（公告）號 CN214186718U 公開（公告）日 2021-09-14
申請公布號 CN214186718U 申請公布日 2021-09-14
分類號 B24B37/00（2012.01）I;B24B37/27（2012.01）I;B24B55/06（2006.01）I;B24B55/00（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 劉敏 申請（專利權(quán)）人 深圳市高新投小額貸款有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京化育知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 尹均利
地址 518000廣東省深圳市福田區(qū)園嶺街道鵬盛社區(qū)八卦二路八卦嶺工業(yè)區(qū)616棟612
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種適用于晶圓芯片加工的自動化設(shè)備，其結(jié)構(gòu)包括：處理箱、控制器、驅(qū)動箱、研磨機(jī)頭、承載機(jī)構(gòu)、散熱板，控制器位于處理箱上方，驅(qū)動箱底部的連接柱貫穿連接于處理箱內(nèi)部；本實用新型通過在承載機(jī)構(gòu)內(nèi)部設(shè)置圓臺槽與活塞相配合，使得晶圓下表面貼合在圓臺槽上，再通過調(diào)節(jié)活塞的高度去改變對晶圓的吸力，從而減少晶圓在研磨時發(fā)生移動，設(shè)置保護(hù)槽塊，使得避免在研磨過程中晶圓磕碰到承載臺造成損壞；在廢渣吸收管內(nèi)部設(shè)置L型連接管與抽風(fēng)機(jī)連接，并在抽風(fēng)機(jī)的帶動下研磨廢渣被引導(dǎo)管吸入進(jìn)入到收集腔體內(nèi)部收集，有效減小廢渣影響研磨工作，設(shè)置傾斜塊，利于使廢渣集中在收集腔體中部，避免廢渣長時間堆積在入口造成堵塞。