一種用于光刻機(jī)凈化車(chē)間的凈化裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202123271504.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN216901324U | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-07-05 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN216901324U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-07-05 |
| 分類(lèi)號(hào) | G03F7/20（2006.01）I | 分類(lèi) | 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類(lèi)似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 蔣傳亞;姚梁;楊青;韓雍;謝華;王東升 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 上海順灝新材料科技股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海灣谷知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 200331上海市普陀區(qū)真陳路200號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于光刻機(jī)凈化車(chē)間的凈化裝置，連接光刻機(jī)，包括：無(wú)油空壓機(jī)；設(shè)置在所述無(wú)油空壓機(jī)后面的第一儲(chǔ)氣罐；設(shè)置在所述第一儲(chǔ)氣罐后面，用于干燥壓縮空氣的冷干機(jī)；設(shè)置在所述冷干機(jī)后面，用于去除壓縮空氣中水分的吸干機(jī)；設(shè)置在所述吸干機(jī)后面，用于對(duì)壓縮空氣進(jìn)行熱交換的熱交換器；設(shè)置在所述熱交換器后面，用于儲(chǔ)存熱交換后的壓縮空氣的第二儲(chǔ)氣罐；連通所述第二儲(chǔ)氣罐和光刻機(jī)二合一管路。本實(shí)用新型能夠有效解決凈化車(chē)間內(nèi)不可見(jiàn)微粒、極小灰塵凈化的問(wèn)題。 |
